CVD反应器的基座

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980091247.X

申请日：

2019-12-06

公开(公告)号：

CN113383110B

公开(公告)日：

2024-05-14

发明(设计)人：

W.J.T.克鲁肯 P.S.劳弗

申请人：

艾克斯特朗欧洲公司

申请人地址：

德国黑措根拉特

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

C23C16/44 H01L21/687

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

任丽荣

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

CVD反应器的基座 [P].

W.J.T.克鲁肯 ;

P.S.劳弗 .

中国专利 :CN113383110A ,2021-09-10

[2]

用于CVD反应器的基座 [P].

W.J.T.克鲁肯 .

德国专利 :CN115298351B ,2025-07-22

[3]

用于CVD反应器的基座 [P].

D.克莱森斯 ;

A.博伊德 ;

J.奥多德 ;

O.费龙 .

中国专利 :CN109890998B ,2019-06-14

[4]

用于CVD反应器的基座 [P].

O.舍恩 ;

F.鲁达威特 ;

M.沙夫拉特 .

中国专利 :CN110603344A ,2019-12-20

[5]

用于CVD反应器的基座的加热装置 [P].

H.蒋 ;

F.M.A.克劳利 .

德国专利 :CN113840944B ,2024-06-11

[6]

用于加热CVD反应器的基座的设备 [P].

P-A.伯丁 ;

M.E.奥彭 ;

K.艾伦 ;

F.M.A.克劳利 .

中国专利 :CN204162789U ,2015-02-18

[7]

用于CVD反应器的基座的加热装置 [P].

H.蒋 ;

F.M.A.克劳利 .

中国专利 :CN113840944A ,2021-12-24

[8]

用于加热CVD反应器的基座的设备 [P].

P-A.伯丁 ;

K.艾伦 .

中国专利 :CN204162787U ,2015-02-18

[9]

用于CVD反应器的基座的加热装置 [P].

P-A.伯丁 ;

K.艾伦 .

中国专利 :CN104674195B ,2015-06-03

[10]

CVD反应器和清洁CVD反应器的方法 [P].

M.科尔伯格 ;

W.J.T.克鲁克肯 ;

F.鲁达伊威特 ;

M.德费尔 ;

M.普菲斯特雷尔 .

中国专利 :CN109844174B ,2019-06-04

← 1 2 3 4 5 →