用于适合超大电流密度的电镀铜柱溶液及电镀方法

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专利类型
发明
申请号
CN202010003329.9
申请日
2020-01-02
公开(公告)号
CN111074306B
公开(公告)日
2020-04-28
发明(设计)人
孙道豫 姚吉豪 黄雷
申请人
申请人地址
226400 江苏省南通市南通高新区金川路东、油榨路北
IPC主分类号
C25D338
IPC分类号
C25D712 C25D2110
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
电镀铜溶液添加剂、电镀铜溶液以及电镀方法 [P]. 
徐群杰 ;
周苗淼 ;
孟雅超 ;
张雨 ;
沈喜训 .
中国专利 :CN113502512A ,2021-10-15
[2]
用于晶圆级封装的电镀铜溶液及电镀方法 [P]. 
王江锋 ;
何志刚 ;
陈建平 ;
李云华 ;
汪文珍 ;
杨明 .
中国专利 :CN103290438A ,2013-09-11
[3]
铜电镀液、电镀铜的方法及形成铜柱的方法 [P]. 
王彦智 ;
杨家荣 ;
洪俊雄 .
中国专利 :CN107326408A ,2017-11-07
[4]
一种电镀铜溶液、电镀铜溶液添加剂及其制备方法 [P]. 
徐群杰 ;
周苗淼 ;
孟雅超 ;
沈喜训 ;
李巧霞 .
中国专利 :CN115652380A ,2023-01-31
[5]
一种电镀铜溶液、电镀铜溶液添加剂及其制备方法 [P]. 
徐群杰 ;
孟雅超 ;
郑超杰 ;
张涛 ;
李海蒂 ;
王云发 ;
宋世琪 ;
沈喜训 ;
李巧霞 ;
吴伟 .
中国专利 :CN116240596B ,2025-08-26
[6]
一种电镀铜溶液、电镀铜溶液添加剂及其制备方法 [P]. 
徐群杰 ;
周苗淼 ;
孟雅超 ;
沈喜训 ;
李巧霞 .
中国专利 :CN115652380B ,2025-08-22
[7]
用于晶圆级封装超级TSV铜互连材料的电镀铜溶液及电镀方法 [P]. 
姚吉豪 ;
孙道豫 ;
姚玉 .
中国专利 :CN110541179B ,2019-12-06
[8]
填充IC载板通孔的电镀铜溶液及电镀方法 [P]. 
孙道豫 ;
姚吉豪 .
中国专利 :CN111424296A ,2020-07-17
[9]
用于微盲孔填充的电镀铜溶液 [P]. 
王增林 ;
路旭斌 .
中国专利 :CN102995076B ,2013-03-27
[10]
晶圆级封装的电镀溶液及电镀工艺 [P]. 
姚玉 ;
陈建龙 ;
王江锋 .
中国专利 :CN113026067A ,2021-06-25