制造沟槽型功率器件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410465854.7

申请日：

2014-09-12

公开(公告)号：

CN105470139A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

沈思杰

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L21027 H01L21266

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20160406
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658479757 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2014104658547 申请日:20140912
2016-04-06	公开	公开

共 50 条

[1]

制造沟槽型功率器件的方法 [P].

沈思杰 .

中国专利 :CN105470138A ,2016-04-06

[2]

沟槽型功率器件的制造方法和沟槽型功率器件 [P].

李理 ;

马万里 ;

赵圣哲 .

中国专利 :CN105575761A ,2016-05-11

[3]

沟槽型功率器件的制造方法和沟槽型功率器件 [P].

李理 ;

马万里 ;

赵圣哲 .

中国专利 :CN105225959A ,2016-01-06

[4]

沟槽型功率器件的制造方法 [P].

李理 ;

马万里 ;

赵圣哲 .

中国专利 :CN104835740A ,2015-08-12

[5]

沟槽型功率器件的制造方法 [P].

闵源 ;

张鼎丰 .

中国专利 :CN115101420A ,2022-09-23

[6]

沟槽型功率器件的制造方法 [P].

杨啸 ;

陈辉 ;

王加坤 .

中国专利 :CN114429906B ,2025-08-26

[7]

沟槽型功率器件的制造方法 [P].

王域 ;

周颖 ;

曹培明 .

中国专利 :CN113675092A ,2021-11-19

[8]

沟槽型功率器件的制造方法 [P].

杨啸 ;

陈辉 ;

王加坤 .

中国专利 :CN114429906A ,2022-05-03

[9]

沟槽型功率器件的制造方法 [P].

王域 ;

周颖 ;

曹培明 .

中国专利 :CN113675092B ,2024-02-02

[10]

沟槽型功率器件的沟槽栅结构及其制造方法 [P].

常虹 .

中国专利 :CN113517341A ,2021-10-19

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