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沟槽型功率器件的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110963068.X
申请日：
2021-08-20
公开(公告)号：
CN113675092A
公开(公告)日：
2021-11-19
发明(设计)人：
王域 周颖 曹培明
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L21266 H01L2978 H01L2702
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
周耀君
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-12-07 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20210820
2021-11-19 公开 公开
共 50 条
[1]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
王域 ;
周颖 ;
曹培明 .
中国专利 :CN113675092B ,2024-02-02
[2]
沟槽型功率器件的制造方法和沟槽型功率器件 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN105575761A ,2016-05-11
[3]
沟槽型功率器件的制造方法和沟槽型功率器件 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN105225959A ,2016-01-06
[4]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN104835740A ,2015-08-12
[5]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
闵源 ;
张鼎丰 .
中国专利 :CN115101420A ,2022-09-23
[6]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
杨啸 ;
陈辉 ;
王加坤 .
中国专利 :CN114429906B ,2025-08-26
[7]
制造沟槽型功率器件的方法 [P]. 
沈思杰 .
中国专利 :CN105470138A ,2016-04-06
[8]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
杨啸 ;
陈辉 ;
王加坤 .
中国专利 :CN114429906A ,2022-05-03
[9]
制造沟槽型功率器件的方法 [P]. 
沈思杰 .
中国专利 :CN105470139A ,2016-04-06
[10]
沟槽型功率器件制作方法和沟槽型功率器件 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN105225957B ,2016-01-06
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