浅沟槽隔离结构形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010278674.X

申请日：

2010-09-10

公开(公告)号：

CN101937862A

公开(公告)日：

2011-01-05

发明(设计)人：

胡正军

申请人：

申请人地址：

201210 上海市张江高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101428717566 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:201010278674X 申请日:20100910
2015-09-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721018676 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:201010278674X 申请公布日:20110105
2011-01-05	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

张瑛 ;

林伟铭 ;

吴晓丽 .

中国专利 :CN102148182B ,2011-08-10

[2]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

张瑛 ;

林伟铭 .

中国专利 :CN102148181A ,2011-08-10

[3]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

雷强 ;

沈亮 ;

高喜峰 .

中国专利 :CN102456606A ,2012-05-16

[4]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

何永根 ;

涂火金 .

中国专利 :CN102468212B ,2012-05-23

[5]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

杨芸 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102412182B ,2012-04-11

[6]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

杨芸 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102412181A ,2012-04-11

[7]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

李亮 ;

何永根 ;

涂火金 .

中国专利 :CN102468211B ,2015-01-21

[8]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

林竞尧 ;

肖春光 .

中国专利 :CN101197304A ,2008-06-11

[9]

浅沟槽隔离形成方法 [P].

王乐 .

中国专利 :CN102263052B ,2011-11-30

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

王飞飞 ;

张继亮 ;

李小康 ;

王裕晓 .

中国专利 :CN113223995A ,2021-08-06

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