浅沟槽隔离结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110447808.4

申请日：

2021-04-25

公开(公告)号：

CN113223995A

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

王飞飞张继亮李小康王裕晓

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L21316

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

张彦敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20210425
2021-08-06	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

林竞尧 ;

肖春光 .

中国专利 :CN101197304A ,2008-06-11

[2]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

平延磊 .

中国专利 :CN102487032A ,2012-06-06

[3]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[4]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

田俊 ;

黄永彬 ;

王永刚 .

中国专利 :CN109637973A ,2019-04-16

[5]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

任小兵 ;

熊伟 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN111128854A ,2020-05-08

[6]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

杨芸 .

中国专利 :CN104103571B ,2014-10-15

[7]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张翼英 .

中国专利 :CN103811403B ,2014-05-21

[8]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

王硕 ;

许忠义 .

中国专利 :CN103050431A ,2013-04-17

[9]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

陈海华 ;

黄怡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN101459106A ,2009-06-17

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

何永根 .

中国专利 :CN104425343A ,2015-03-18

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