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一种含硅咪唑啉缓蚀剂的制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201710096014.1
申请日
:
2017-02-22
公开(公告)号
:
CN106801228A
公开(公告)日
:
2017-06-06
发明(设计)人
:
冯青
刘金顺
黄瑞光
申请人
:
申请人地址
:
250200 山东省济南市普集镇乐家村
IPC主分类号
:
C23F1118
IPC分类号
:
C23C1812
C08G7738
C08G77388
代理机构
:
济南泉城专利商标事务所 37218
代理人
:
李桂存
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-03-08
授权
授权
2017-06-30
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101730169823 IPC(主分类):C23F 11/18 专利申请号:2017100960141 申请日:20170222
2017-06-06
公开
公开
共 50 条
[1]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法
[P].
连贵宾
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连贵宾
;
赵波
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赵波
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孙新春
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孙新春
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何志刚
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何志刚
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吴君
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吴君
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卜魁勇
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卜魁勇
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张文辉
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张文辉
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刘冬梅
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刘冬梅
;
程春雷
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程春雷
.
中国专利
:CN102964306A
,2013-03-13
[2]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法
[P].
郑性能
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郑性能
;
张建妮
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张建妮
.
中国专利
:CN106884171A
,2017-06-23
[3]
一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法
[P].
李双奇
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李双奇
;
贺凤伟
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贺凤伟
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孙浩妍
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孙浩妍
.
中国专利
:CN105968052A
,2016-09-28
[4]
一种含酰胺键树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法
[P].
何毅
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何毅
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周艳秋
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周艳秋
;
马兰
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马兰
;
杨冉冉
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杨冉冉
;
郭睿
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郭睿
.
中国专利
:CN104774180A
,2015-07-15
[5]
一种含氟阳离子咪唑啉缓蚀剂及其制备方法
[P].
张光华
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张光华
;
刘国俊
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刘国俊
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李俊国
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李俊国
;
房瑜红
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房瑜红
;
朱军峰
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朱军峰
.
中国专利
:CN102277577A
,2011-12-14
[6]
一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法
[P].
何毅
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何毅
;
何泽
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何泽
;
陈丽
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陈丽
;
郭睿
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郭睿
;
马兰
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马兰
.
中国专利
:CN104788379A
,2015-07-22
[7]
一种聚合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法
[P].
王木立
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王木立
;
徐慧
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徐慧
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狄志刚
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狄志刚
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尚跃再
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尚跃再
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赵起锋
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赵起锋
;
陶骞
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陶骞
.
中国专利
:CN105506643A
,2016-04-20
[8]
一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法
[P].
李艳艳
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李艳艳
.
中国专利
:CN112877698A
,2021-06-01
[9]
一种复合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法
[P].
李家俊
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李家俊
;
刘玉民
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刘玉民
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吴涛
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吴涛
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曹阳
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曹阳
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刘学敏
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刘学敏
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仇进城
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仇进城
.
中国专利
:CN107190265A
,2017-09-22
[10]
一种改性咪唑啉缓蚀剂的制备方法
[P].
张传海
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张传海
;
李奎
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李奎
;
刘志山
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刘志山
.
中国专利
:CN106319529A
,2017-01-11
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