一种含硅咪唑啉缓蚀剂的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710096014.1
申请日
2017-02-22
公开(公告)号
CN106801228A
公开(公告)日
2017-06-06
发明(设计)人
冯青 刘金顺 黄瑞光
申请人
申请人地址
250200 山东省济南市普集镇乐家村
IPC主分类号
C23F1118
IPC分类号
C23C1812 C08G7738 C08G77388
代理机构
济南泉城专利商标事务所 37218
代理人
李桂存
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
连贵宾 ;
赵波 ;
孙新春 ;
何志刚 ;
吴君 ;
卜魁勇 ;
张文辉 ;
刘冬梅 ;
程春雷 .
中国专利 :CN102964306A ,2013-03-13
[2]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
郑性能 ;
张建妮 .
中国专利 :CN106884171A ,2017-06-23
[3]
一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李双奇 ;
贺凤伟 ;
孙浩妍 .
中国专利 :CN105968052A ,2016-09-28
[4]
一种含酰胺键树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
何毅 ;
周艳秋 ;
马兰 ;
杨冉冉 ;
郭睿 .
中国专利 :CN104774180A ,2015-07-15
[5]
一种含氟阳离子咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
张光华 ;
刘国俊 ;
李俊国 ;
房瑜红 ;
朱军峰 .
中国专利 :CN102277577A ,2011-12-14
[6]
一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
何毅 ;
何泽 ;
陈丽 ;
郭睿 ;
马兰 .
中国专利 :CN104788379A ,2015-07-22
[7]
一种聚合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
王木立 ;
徐慧 ;
狄志刚 ;
尚跃再 ;
赵起锋 ;
陶骞 .
中国专利 :CN105506643A ,2016-04-20
[8]
一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李艳艳 .
中国专利 :CN112877698A ,2021-06-01
[9]
一种复合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李家俊 ;
刘玉民 ;
吴涛 ;
曹阳 ;
刘学敏 ;
仇进城 .
中国专利 :CN107190265A ,2017-09-22
[10]
一种改性咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
张传海 ;
李奎 ;
刘志山 .
中国专利 :CN106319529A ,2017-01-11