测量衬底、测量方法及测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780066499.8

申请日：

2017-09-08

公开(公告)号：

CN109891325A

公开(公告)日：

2019-06-14

发明(设计)人：

关天男李敬师于淼

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170908
2021-11-16	授权	授权
2019-06-14	公开	公开

共 50 条

[1]

测量衬底及测量方法 [P].

P·J·尼弗斯 ;

斯通扬·尼蒂安沃夫 ;

R·H·M·J·布洛克斯 ;

J·P·M·B·沃缪伦 ;

J·P·M·德拉罗塞特 ;

T·S·M·劳伦特 ;

K·A·A·梅金娃 .

中国专利 :CN108604064A ,2018-09-28

[2]

测量装置、测量系统及测量方法 [P].

大森启史 .

中国专利 :CN111521247A ,2020-08-11

[3]

测量系统、测量设备及测量方法 [P].

朱百贤 ;

小堺修 ;

寺岛彻 .

日本专利 :CN121240823A ,2025-12-30

[4]

奥氏体测量系统及测量方法 [P].

张建华 ;

程亚宇 ;

王振山 ;

关志刚 ;

张相臣 ;

王文军 ;

王忠诚 ;

赵贺祥 .

中国专利 :CN109507238A ,2019-03-22

[5]

测量方法及测量系统 [P].

张孟卓 ;

薛霞铭 ;

谷文举 ;

张丽炜 ;

曹倩 ;

陈纪喆 .

中国专利 :CN120594335A ,2025-09-05

[6]

测量方法及测量系统 [P].

易致礼 ;

沈晴鹤 ;

张骏 .

中国专利 :CN115143883A ,2022-10-04

[7]

测量系统及测量方法 [P].

高明祺 ;

林毅俊 ;

王顺星 ;

陈柏徵 .

中国专利 :CN102269643A ,2011-12-07

[8]

测量系统及测量方法 [P].

张泓恺 ;

苏忠耀 ;

张秋贤 .

中国专利 :CN103575983B ,2014-02-12

[9]

测量系统及测量方法 [P].

陈鲁 ;

尉佩 ;

马砚忠 .

中国专利 :CN120868891A ,2025-10-31

[10]

测量系统及测量方法 [P].

刘小明 ;

俞俊生 ;

陈晓东 ;

姚远 ;

亓丽梅 ;

陈智娇 ;

王海 ;

单广帅 ;

许仁杰 .

中国专利 :CN105974201A ,2016-09-28

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