测量衬底及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680080037.7

申请日：

2016-11-23

公开(公告)号：

CN108604064A

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

P·J·尼弗斯斯通扬·尼蒂安沃夫 R·H·M·J·布洛克斯 J·P·M·B·沃缪伦 J·P·M·德拉罗塞特 T·S·M·劳伦特 K·A·A·梅金娃

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2167 H01L2166

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张启程

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20161123
2018-09-28	公开	公开

共 50 条

[1]

测量衬底、测量方法及测量系统 [P].

关天男 ;

李敬师 ;

于淼 .

中国专利 :CN109891325A ,2019-06-14

[2]

测量方法、设备和衬底 [P].

大卫·德克斯 ;

法兰西斯卡·戈德弗瑞德斯·卡斯珀·碧嫩 ;

S·穆萨 .

中国专利 :CN102566301A ,2012-07-11

[3]

车辆载荷测量方法及测量装置 [P].

周健 ;

陆小红 ;

胡凯 .

中国专利 :CN110470371A ,2019-11-19

[4]

电压测量装置及电压测量方法 [P].

高磊 ;

王振岭 .

中国专利 :CN111323643A ,2020-06-23

[5]

液体流量测量装置及测量方法 [P].

吴淳武 ;

吴欲龙 ;

吴克忠 ;

张绘 .

中国专利 :CN108375405A ,2018-08-07

[6]

测量装置及测量方法 [P].

蔡宗轩 ;

翁志伟 ;

邱志鸿 ;

邱启瑞 ;

林嵩哲 ;

庄亚欣 .

中国专利 :CN112137623B ,2024-08-06

[7]

测量装置及测量方法 [P].

青木和典 .

中国专利 :CN103344803B ,2013-10-09

[8]

测量装置及测量方法 [P].

钟涛 ;

陈绪刚 .

中国专利 :CN106501556A ,2017-03-15

[9]

测量装置及测量方法 [P].

青木和典 .

中国专利 :CN101852822A ,2010-10-06

[10]

测量尺及测量方法 [P].

余阳 .

中国专利 :CN107339923A ,2017-11-10

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