测量方法、设备和衬底

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110387956.8

申请日：

2011-11-29

公开(公告)号：

CN102566301A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

大卫·德克斯法兰西斯卡·戈德弗瑞德斯·卡斯珀·碧嫩 S·穆萨

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F144

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴敬莲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-23	授权	授权
2012-07-11	公开	公开
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324738181 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011103879568 申请日:20111129

共 50 条

[1]

测量衬底及测量方法 [P].

P·J·尼弗斯 ;

斯通扬·尼蒂安沃夫 ;

R·H·M·J·布洛克斯 ;

J·P·M·B·沃缪伦 ;

J·P·M·德拉罗塞特 ;

T·S·M·劳伦特 ;

K·A·A·梅金娃 .

中国专利 :CN108604064A ,2018-09-28

[2]

用于预测测量方法的性能的方法和设备、测量方法和设备 [P].

S·G·J·马西森 ;

S·B·罗博尔 ;

林楠 ;

W·M·J·M·柯恩 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN110291464A ,2019-09-27

[3]

用于预测测量方法的性能的方法和设备、测量方法和设备 [P].

M·J·J·杰克 .

中国专利 :CN110050233A ,2019-07-23

[4]

测量系统、光刻设备和测量方法 [P].

马克·威廉姆斯·玛丽亚·范德威吉斯特 ;

恩格尔伯塔斯·安东尼纳斯·弗朗西丝克斯·范德帕斯奇 ;

克恩·雅克布斯·约翰尼斯·玛丽亚·扎安尔 .

中国专利 :CN102096332A ,2011-06-15

[5]

测量系统、光刻设备和测量方法 [P].

马克·威廉姆斯·玛丽亚·范德威吉斯特 ;

恩格尔伯塔斯·安东尼纳斯·弗朗西丝克斯·范德帕斯奇 ;

克恩·雅克布斯·约翰尼斯·玛丽亚·扎安尔 .

中国专利 :CN101276155B ,2008-10-01

[6]

测量方法和测量设备 [P].

泷口清昭 ;

须田义大 ;

山边茂之 ;

河野贤司 ;

林达郎 ;

山田耕太郎 ;

正木信男 .

中国专利 :CN104136930A ,2014-11-05

[7]

测量方法和测量设备 [P].

永井胜之 .

中国专利 :CN102445195A ,2012-05-09

[8]

测量衬底、测量方法及测量系统 [P].

关天男 ;

李敬师 ;

于淼 .

中国专利 :CN109891325A ,2019-06-14

[9]

位置测量设备和位置测量方法 [P].

阿木智彦 .

中国专利 :CN101943969B ,2011-01-12

[10]

纸尿裤参数测量设备和测量方法 [P].

莫思特 ;

谢琦 ;

刘天琪 ;

李碧雄 .

中国专利 :CN108542595A ,2018-09-18

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