一种芯片外观光学检测装置

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申请号
CN202221615543.0
申请日
2022-06-24
公开(公告)号
CN218036465U
公开(公告)日
2022-12-13
发明(设计)人
雷远坤 沈志文
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰竹东路8号同力兴工业厂区办公楼205
IPC主分类号
G01N2188
IPC分类号
G01N2101
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种芯片外观光学检测装置 [P]. 
宋晓兵 ;
谢小导 .
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[2]
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[3]
一种芯片外观光学检测装置 [P]. 
蒋中涛 ;
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曹琳 ;
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[5]
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[6]
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曹琳 ;
王晓光 ;
徐智忠 .
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
一种芯片外观检测装置 [P]. 
唐松林 ;
王鹏 ;
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