一种调焦调平装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310158882.X

申请日：

2013-05-03

公开(公告)号：

CN104133345B

公开(公告)日：

2014-11-05

发明(设计)人：

王海江程鹏陈飞彪宋海军

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201310158882X 申请日:20130503 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101590934272
2016-12-07	授权	授权
2014-11-05	公开	公开
2017-09-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759017267 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL201310158882X 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更事项:共同专利权人变更前:上海微高精密机械工程有限公司变更后:上海微高精密机械工程有限公司

共 50 条

[1]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

吴卫军 ;

陈飞彪 ;

李欣欣 .

中国专利 :CN106647174A ,2017-05-10

[2]

一种调焦调平装置 [P].

陆侃 ;

宋海军 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN104749901A ,2015-07-01

[3]

调焦调平装置及方法 [P].

唐平玉 .

中国专利 :CN106933071A ,2017-07-07

[4]

大量程调焦调平装置、方法及调焦调平检测方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119472190A ,2025-02-18

[5]

一种调焦调平装置及方法 [P].

庄亚政 .

中国专利 :CN109426101A ,2019-03-05

[6]

一种调焦调平装置、调焦调平方法及光刻设备 [P].

王晓庆 ;

王海江 ;

庄亚政 .

中国专利 :CN110376846A ,2019-10-25

[7]

一种调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

庄亚政 .

中国专利 :CN110501878B ,2019-11-26

[8]

调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN111352304B ,2020-06-30

[9]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

陆侃 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN103838088B ,2014-06-04

[10]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

张冲 .

中国专利 :CN103365103A ,2013-10-23

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