一种基于图形密度的工艺模型建模与修正方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610606942.3
申请日
2016-07-28
公开(公告)号
CN106294935B
公开(公告)日
2017-01-04
发明(设计)人
何大权 魏芳 赵月兴 倪念慈 朱骏
申请人
申请人地址
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
IPC主分类号
G06F1750
IPC分类号
代理机构
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
代理人
吴世华;陈慧弘
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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栾振业 ;
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[3]
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许可 ;
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[4]
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[5]
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王雷 .
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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欧清扬 ;
蒋念娟 ;
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[10]
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陈福成 ;
袁春雨 .
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