光刻机外壳加工工装

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120770958.4

申请日：

2021-04-15

公开(公告)号：

CN215698986U

公开(公告)日：

2022-02-01

发明(设计)人：

瞿建强钱拥军张乐陈高韵

申请人：

申请人地址：

225400 江苏省泰州市泰兴市黄桥工业园区致富南路西侧、军民路北侧

IPC主分类号：

B23K2670

IPC分类号：

B23K26362 B23K3704

代理机构：

无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247

代理人：

王威钦

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-01	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机外壳一序夹紧工装 [P].

瞿建强 ;

钱拥军 ;

张乐 ;

陈高韵 .

中国专利 :CN217224119U ,2022-08-19

[2]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[3]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[4]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

[5]

一种芯片加工用光刻机外壳 [P].

胡国振 .

中国专利 :CN217879977U ,2022-11-22

[6]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[7]

光刻机及光刻机用上版夹具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN204215146U ,2015-03-18

[8]

一种光刻机用硅片加工装置 [P].

鹿庆文 .

中国专利 :CN216181768U ,2022-04-05

[9]

光刻机镜头 [P].

徐维良 ;

陈国军 ;

吴景舟 ;

马迪 .

中国专利 :CN223401142U ,2025-09-30

[10]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

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