一种光刻机用硅片加工装置

被引：0

申请号：

CN202122644047.X

申请日：

2021-11-01

公开(公告)号：

CN216181768U

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

鹿庆文

申请人：

申请人地址：

250200 山东省济南市章丘市明水绣源路中段（吕家村北）

IPC主分类号：

B28D504

IPC分类号：

B28D704 B28D702 B28D700

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

房德权

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多工位硅片光刻机 [P].

高培成 .

中国专利 :CN212302210U ,2021-01-05

[2]

光刻机外壳加工工装 [P].

瞿建强 ;

钱拥军 ;

张乐 ;

陈高韵 .

中国专利 :CN215698986U ,2022-02-01

[3]

一种光刻机硅片传送装置 [P].

鹿庆文 .

中国专利 :CN216052603U ,2022-03-15

[4]

一种光刻机用硅片盛放盒 [P].

高岩 ;

叶东国 ;

付志江 .

中国专利 :CN213716854U ,2021-07-16

[5]

一种光刻机用硅片盛放盒 [P].

丁桃宝 ;

丁仁 .

中国专利 :CN206193437U ,2017-05-24

[6]

一种光刻机的硅片拿取装置 [P].

詹菲 ;

李恒 .

中国专利 :CN212989876U ,2021-04-16

[7]

一种光刻机的硅片输送装置 [P].

丁桃宝 ;

陈愿 .

中国专利 :CN206209292U ,2017-05-31

[8]

一种光刻机硅片转移机构 [P].

刘炫烨 .

中国专利 :CN207473297U ,2018-06-08

[9]

一种光刻机硅片盛放盒 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN212905894U ,2021-04-06

[10]

一种多工位硅片光刻机 [P].

秦有贵 ;

辛奇 ;

胡凯 ;

徐峰 ;

杨军 ;

闫乐成 ;

秦宝宏 .

中国专利 :CN217425924U ,2022-09-13

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