MEMS器件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621075882.9

申请日：

2016-09-23

公开(公告)号：

CN206203879U

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

孙伟闻永祥季锋刘琛

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市经济技术开发区10号大街（东）308号

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81B702 B81C100

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

蔡纯;张靖琳

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20160923 授权公告日:20170531 放弃生效日:20180904
2017-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS器件及其制造方法 [P].

孙伟 ;

闻永祥 ;

季锋 ;

刘琛 .

中国专利 :CN106365106A ,2017-02-01

[2]

MEMS器件 [P].

陈嘉辉 ;

庄瑞芬 .

中国专利 :CN216890092U ,2022-07-05

[3]

MEMS器件 [P].

E·杜奇 ;

L·巴尔多 ;

R·卡尔米纳蒂 .

中国专利 :CN207689049U ,2018-08-03

[4]

MEMS器件 [P].

庄瑞芬 .

中国专利 :CN217264846U ,2022-08-23

[5]

MEMS器件 [P].

孙伟 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

葛俊山 ;

马志坚 .

中国专利 :CN210133881U ,2020-03-10

[6]

MEMS器件 [P].

季锋 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

邹光祎 .

中国专利 :CN209815677U ,2019-12-20

[7]

MEMS器件以及MEMS器件的制造工艺 [P].

R·卡尔米纳蒂 ;

T·阿菲菲·阿菲菲 ;

C·L·佩瑞里尼 ;

S·克斯坦蒂尼 .

:CN118545673A ,2024-08-27

[8]

MEMS器件和电子器件 [P].

R·卡尔米纳蒂 ;

N·博尼 ;

A·巴拜利 ;

M·扎姆普罗戈诺 ;

L·莫利纳里 .

中国专利 :CN218145865U ,2022-12-27

[9]

用于MEMS器件的CMOS封盖 [P].

洪婉嘉 ;

彼得·科普尼奇 ;

伊凯·安德·奥贾克 ;

保罗·西蒙·庞廷 .

中国专利 :CN113086938A ,2021-07-09

[10]

MEMS器件、MEMS器件的系统、制作MEMS器件的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN103922269B ,2014-07-16

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