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MEMS器件以及MEMS器件的制造工艺

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410210146.2
申请日：
2024-02-26
公开(公告)号：
CN118545673A
公开(公告)日：
2024-08-27
发明(设计)人：
R·卡尔米纳蒂 T·阿菲菲·阿菲菲 C·L·佩瑞里尼 S·克斯坦蒂尼
申请人：
意法半导体国际公司
申请人地址：
瑞士日内瓦
IPC主分类号：
B81B7/02
IPC分类号：
G02B26/08 B81B3/00 B81C1/00
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
成城
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-09-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/02申请日:20240226
2024-08-27 公开 公开
共 50 条
[1]
MEMS器件以及制造MEMS器件的方法 [P]. 
J·玛索内 .
中国专利 :CN105228076A ,2016-01-06
[2]
MEMS器件的制造方法以及MEMS器件 [P]. 
福光政和 .
中国专利 :CN112567500A ,2021-03-26
[3]
MEMS器件的制造方法以及MEMS器件 [P]. 
福光政和 .
日本专利 :CN112567500B ,2025-01-07
[4]
制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 [P]. 
胜木隆史 ;
岛内岳明 ;
今井雅彦 ;
丰田治 ;
上田知史 .
中国专利 :CN102190286B ,2011-09-21
[5]
MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法 [P]. 
M·菲尔德纳 ;
A·沃瑟 .
中国专利 :CN111698624A ,2020-09-22
[6]
MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法 [P]. 
M·菲尔德纳 ;
A·沃瑟 .
德国专利 :CN111698624B ,2024-06-14
[7]
用于制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 [P]. 
A.德赫 ;
C.格拉策尔 ;
S.皮尔克 .
中国专利 :CN104418288A ,2015-03-18
[8]
MEMS器件 [P]. 
E·杜奇 ;
L·巴尔多 ;
R·卡尔米纳蒂 .
中国专利 :CN207689049U ,2018-08-03
[9]
MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P]. 
S.科尔布 ;
A.迈泽 ;
T.施勒泽 ;
W.韦尔纳 .
中国专利 :CN105384141A ,2016-03-09
[10]
MEMS器件的制造方法 [P]. 
徐宝盈 ;
王飞飞 ;
王晓霞 ;
徐琦 ;
陈淼琴 ;
杨志政 .
中国专利 :CN117923419A ,2024-04-26
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