制造MEMS器件的方法以及MEMS器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110057805.6

申请日：

2011-03-04

公开(公告)号：

CN102190286B

公开(公告)日：

2011-09-21

发明(设计)人：

胜木隆史岛内岳明今井雅彦丰田治上田知史

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

柳春雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101141111920 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2011100578056 申请日:20110304
2011-09-21	公开	公开
2015-09-09	授权	授权
2019-03-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20110304 授权公告日:20150909 终止日期:20180304

共 50 条

[1]

MEMS器件以及制造MEMS器件的方法 [P].

J·玛索内 .

中国专利 :CN105228076A ,2016-01-06

[2]

MEMS器件的制造方法以及MEMS器件 [P].

福光政和 .

中国专利 :CN112567500A ,2021-03-26

[3]

MEMS器件的制造方法以及MEMS器件 [P].

福光政和 .

日本专利 :CN112567500B ,2025-01-07

[4]

MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法 [P].

M·菲尔德纳 ;

A·沃瑟 .

中国专利 :CN111698624A ,2020-09-22

[5]

MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法 [P].

M·菲尔德纳 ;

A·沃瑟 .

德国专利 :CN111698624B ,2024-06-14

[6]

用于制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 [P].

A.德赫 ;

C.格拉策尔 ;

S.皮尔克 .

中国专利 :CN104418288A ,2015-03-18

[7]

MEMS器件以及MEMS器件的制造工艺 [P].

R·卡尔米纳蒂 ;

T·阿菲菲·阿菲菲 ;

C·L·佩瑞里尼 ;

S·克斯坦蒂尼 .

:CN118545673A ,2024-08-27

[8]

MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P].

彼得里·基尔皮宁 ;

马尔科·佩萨 ;

安蒂·伊霍拉 ;

阿尔蒂·托尔凯利 .

日本专利 :CN118790951A ,2024-10-18

[9]

MEMS器件、封装MEMS器件及其制造方法 [P].

梁凯智 ;

郑钧文 .

中国专利 :CN103539062A ,2014-01-29

[10]

MEMS器件的制造方法及MEMS器件 [P].

徐希锐 ;

魏丹珠 ;

鲁列微 .

中国专利 :CN112408312B ,2021-02-26

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