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MEMS器件的制造方法以及MEMS器件

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980053800.0
申请日：
2019-06-03
公开(公告)号：
CN112567500A
公开(公告)日：
2021-03-26
发明(设计)人：
福光政和
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21301
IPC分类号：
B23K2653 B28D500 B81B300 B81C300
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
舒艳君;王海奇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-04-13 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/301 申请日:20190603
2021-03-26 公开 公开
共 50 条
[1]
MEMS器件的制造方法以及MEMS器件 [P]. 
福光政和 .
日本专利 :CN112567500B ,2025-01-07
[2]
MEMS器件以及制造MEMS器件的方法 [P]. 
J·玛索内 .
中国专利 :CN105228076A ,2016-01-06
[3]
制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 [P]. 
胜木隆史 ;
岛内岳明 ;
今井雅彦 ;
丰田治 ;
上田知史 .
中国专利 :CN102190286B ,2011-09-21
[4]
MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法 [P]. 
M·菲尔德纳 ;
A·沃瑟 .
中国专利 :CN111698624A ,2020-09-22
[5]
MEMS器件以及用于制造MEMS器件的方法 [P]. 
M·菲尔德纳 ;
A·沃瑟 .
德国专利 :CN111698624B ,2024-06-14
[6]
用于制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 [P]. 
A.德赫 ;
C.格拉策尔 ;
S.皮尔克 .
中国专利 :CN104418288A ,2015-03-18
[7]
MEMS器件以及MEMS器件的制造工艺 [P]. 
R·卡尔米纳蒂 ;
T·阿菲菲·阿菲菲 ;
C·L·佩瑞里尼 ;
S·克斯坦蒂尼 .
:CN118545673A ,2024-08-27
[8]
MEMS器件的制造方法及MEMS器件 [P]. 
徐希锐 ;
魏丹珠 ;
鲁列微 .
中国专利 :CN112408312B ,2021-02-26
[9]
MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P]. 
A.德赫 .
中国专利 :CN105692543A ,2016-06-22
[10]
MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P]. 
S·安辛格尔 ;
H·S·瓦西斯托 ;
M·富尔德纳 ;
S·阿皮亚南 ;
S·盖勒 .
德国专利 :CN121044533A ,2025-12-02
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