一种侧蚀小的铜蚀刻液

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710068593.9
申请日
2017-02-08
公开(公告)号
CN106757029A
公开(公告)日
2017-05-31
发明(设计)人
杜冰 顾群艳 梁豹 鲍杰 赵建龙 张兵 向文胜 朱坤
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号
IPC主分类号
C23F118
IPC分类号
代理机构
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人
汤东凤
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种改善蚀刻形貌的铜钼蚀刻液及其制备方法 [P]. 
李浩 ;
李闯 ;
李瑶 ;
张红伟 ;
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中国专利 :CN120945369A ,2025-11-14
[2]
一种厚铜蚀刻液 [P]. 
余娟娟 ;
王守飞 ;
吴际峰 ;
王维康 ;
何烨谦 ;
黄德新 ;
龚升 .
中国专利 :CN119465153A ,2025-02-18
[3]
一种无底切的铜蚀刻液 [P]. 
王锁 ;
吴际峰 ;
王维康 ;
何烨谦 ;
黄德新 ;
龚升 .
中国专利 :CN120384291A ,2025-07-29
[4]
一种铜蚀刻液 [P]. 
李少平 ;
蔡步林 ;
贺兆波 ;
张演哲 ;
张庭 ;
万杨阳 ;
王书萍 ;
冯凯 ;
尹印 .
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[5]
一种铜蚀刻液及其制备方法 [P]. 
钟昌东 ;
叶瑞 ;
贺兆波 ;
欧阳克银 ;
张庭 ;
张演哲 ;
黄锣锣 ;
黎鹏飞 ;
王荣 ;
彭俊杰 .
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[6]
一种半导体封装用铜蚀刻液及蚀刻方法 [P]. 
王磊 ;
承明忠 ;
李森虎 ;
符佳立 ;
朱龙 ;
孔兴贤 .
中国专利 :CN115786915B ,2025-01-03
[7]
一种酸性铜蚀刻液及其制备方法 [P]. 
吴际峰 ;
王锁 ;
王维康 ;
何烨谦 ;
黄德新 ;
龚升 .
中国专利 :CN118653152A ,2024-09-17
[8]
一种中性铜蚀刻液及其制备方法 [P]. 
刘岩峰 ;
陈继航 .
中国专利 :CN113667978A ,2021-11-19
[9]
一种酸性铜蚀刻液及其制备方法 [P]. 
吴际峰 ;
王锁 ;
王维康 ;
何烨谦 ;
黄德新 ;
龚升 .
中国专利 :CN118653152B ,2024-11-22
[10]
一种铜蚀刻液组合物 [P]. 
乔正收 ;
王金城 .
中国专利 :CN111945163A ,2020-11-17