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一种包括高深宽比通孔的玻璃基板的制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110565908.7
申请日：
2021-05-24
公开(公告)号：
CN113488431A
公开(公告)日：
2021-10-08
发明(设计)人：
赵浩然 王玮 郑德印 杨宇驰 杜建宇 温博
申请人：
申请人地址：
100871 北京市海淀区颐和园路5号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
代理机构：
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人：
张晓玲
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-10-26 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20210524
2021-10-08 公开 公开
共 50 条
[1]
一种包括高深宽比通孔的玻璃基板的制备方法 [P]. 
赵浩然 ;
王玮 ;
郑德印 ;
杨宇驰 ;
杜建宇 ;
温博 .
中国专利 :CN113488432A ,2021-10-08
[2]
高深宽比贯穿玻璃通孔的玻璃金属化加工制程 [P]. 
洪俊雄 .
中国专利 :CN118652059A ,2024-09-17
[3]
一种高深径比玻璃通孔的填充方法及应用 [P]. 
王海燕 ;
孙国立 ;
张宇鹏 .
中国专利 :CN120854275A ,2025-10-28
[4]
一种玻璃基板通孔的制备方法 [P]. 
姚小江 ;
罗亚东 .
中国专利 :CN121215524A ,2025-12-26
[5]
一种玻璃基板的通孔方法 [P]. 
张迅 ;
易伟华 ;
刘松林 ;
徐艳勇 ;
陈玉泉 .
中国专利 :CN119390356A ,2025-02-07
[6]
一种含有高深径比孔洞的玻璃的制备方法 [P]. 
李山 ;
张继华 ;
王冬滨 ;
李爽 ;
李文磊 ;
刘婷 ;
颜灵杰 ;
蔡星周 .
中国专利 :CN119528446A ,2025-02-28
[7]
玻璃基板的通孔蚀刻方法 [P]. 
周钰平 ;
徐苏凡 ;
朱雪晶 ;
李程 .
中国专利 :CN121085552A ,2025-12-09
[8]
一种玻璃基板通孔的加工方法 [P]. 
余佳 .
中国专利 :CN120247417A ,2025-07-04
[9]
玻璃通孔的填充方法及玻璃基板 [P]. 
杨林 ;
高航 ;
王超群 ;
喻兵 ;
吉沈洋 .
中国专利 :CN120809580A ,2025-10-17
[10]
一种利用腐蚀液制备玻璃基板通孔的方法 [P]. 
薛成 ;
覃榆森 ;
张松 ;
刘志磊 ;
朱凡 ;
陆红艳 .
中国专利 :CN117923804A ,2024-04-26
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