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过孔阻挡层
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201480083592.6
申请日
:
2014-12-23
公开(公告)号
:
CN107004598B
公开(公告)日
:
2017-08-01
发明(设计)人
:
R·胡拉尼
M·克雷萨克
F·格瑟特莱恩
R·A·布雷恩
M·T·博尔
申请人
:
申请人地址
:
美国加利福尼亚
IPC主分类号
:
H01L213205
IPC分类号
:
H01L2128
代理机构
:
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
:
韩宏;陈松涛
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-03-19
授权
授权
2017-08-01
公开
公开
2018-01-19
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3205 申请日:20141223
共 50 条
[1]
薄膜扩散阻挡层
[P].
J·C·格伦兰
论文数:
0
引用数:
0
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0
J·C·格伦兰
;
M·A·普廖洛
论文数:
0
引用数:
0
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0
M·A·普廖洛
;
P·温斯顿
论文数:
0
引用数:
0
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0
P·温斯顿
;
J·J·麦克休
论文数:
0
引用数:
0
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0
J·J·麦克休
.
中国专利
:CN110053423A
,2019-07-26
[2]
薄膜扩散阻挡层
[P].
J·C·格伦兰
论文数:
0
引用数:
0
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0
J·C·格伦兰
;
M·A·普廖洛
论文数:
0
引用数:
0
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0
M·A·普廖洛
;
P·温斯顿
论文数:
0
引用数:
0
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0
P·温斯顿
;
J·J·麦克休
论文数:
0
引用数:
0
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0
J·J·麦克休
.
中国专利
:CN104870107A
,2015-08-26
[3]
自形成阻挡层工艺
[P].
安鲁达哈·乔伊
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
朗姆研究公司
朗姆研究公司
安鲁达哈·乔伊
;
耶兹迪·多尔迪
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
朗姆研究公司
朗姆研究公司
耶兹迪·多尔迪
.
美国专利
:CN110870046B
,2024-05-24
[4]
钌-阻挡层抛光浆料
[P].
刘振东
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘振东
.
中国专利
:CN101205442A
,2008-06-25
[5]
自形成阻挡层工艺
[P].
安鲁达哈·乔伊
论文数:
0
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0
机构:
朗姆研究公司
朗姆研究公司
安鲁达哈·乔伊
;
耶兹迪·多尔迪
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
朗姆研究公司
朗姆研究公司
耶兹迪·多尔迪
.
美国专利
:CN118824839A
,2024-10-22
[6]
自形成阻挡层工艺
[P].
安鲁达哈·乔伊
论文数:
0
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0
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0
安鲁达哈·乔伊
;
耶兹迪·多尔迪
论文数:
0
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0
耶兹迪·多尔迪
.
中国专利
:CN110870046A
,2020-03-06
[7]
用于软管的阻挡层
[P].
沃尔弗拉姆·赫曼
论文数:
0
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沃尔弗拉姆·赫曼
;
迪特尔·博尔维茨
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迪特尔·博尔维茨
;
斯特芬·维茨克
论文数:
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斯特芬·维茨克
;
弗兰克·荣格里希特
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弗兰克·荣格里希特
;
哈特穆特·邦格特
论文数:
0
引用数:
0
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0
哈特穆特·邦格特
.
中国专利
:CN111511822A
,2020-08-07
[8]
钽阻挡层去除溶液
[P].
卞锦儒
论文数:
0
引用数:
0
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0
卞锦儒
.
中国专利
:CN1319132C
,2005-07-20
[9]
电光气体阻挡层
[P].
W·L·托纳尔
论文数:
0
引用数:
0
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0
W·L·托纳尔
.
中国专利
:CN108292068B
,2018-07-17
[10]
增强的PVOH基阻挡层组合物、阻挡层和其制造方法
[P].
阿里·纳德利
论文数:
0
引用数:
0
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0
阿里·纳德利
.
中国专利
:CN113166575B
,2021-07-23
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