表面检查装置和表面检查头装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010560448.0

申请日：

2007-05-11

公开(公告)号：

CN102062738A

公开(公告)日：

2011-05-18

发明(设计)人：

深水裕纪子森秀夫

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G01N21954

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

黄纶伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101088110215 IPC(主分类):G01N 21/954 专利申请号:2010105604480 申请日:20070511
2014-07-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101703233102 IPC(主分类):G01N 21/954 专利号:ZL2010105604480 变更事项:专利权人变更前权利人:麒麟工程技术系统公司变更后权利人:长野自动机械股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本神奈川县变更后权利人:日本长野县上田市登记生效日:20140703
2011-05-18	公开	公开
2012-11-21	授权	授权

共 50 条

[1]

表面检查装置 [P].

深水裕纪子 ;

森秀夫 .

中国专利 :CN101443652B ,2009-05-27

[2]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

初田元伸 ;

清水英仁 .

中国专利 :CN103226108B ,2013-07-31

[3]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

坂本三四郎 .

中国专利 :CN115047009A ,2022-09-13

[4]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

早野史伦 .

中国专利 :CN101990636A ,2011-03-23

[5]

表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置 [P].

栗山淳 ;

石羽正人 ;

村上清 ;

四谷辉久 .

中国专利 :CN1661323A ,2005-08-31

[6]

表面特性检查方法和表面特性检查装置 [P].

牧野良保 .

中国专利 :CN109791126A ,2019-05-21

[7]

表面特性检查方法和表面特性检查装置 [P].

牧野良保 ;

加贺秀明 .

中国专利 :CN106164666B ,2016-11-23

[8]

表面特性检查装置和表面特性检查方法 [P].

牧野良保 .

中国专利 :CN103649744A ,2014-03-19

[9]

表面检查装置以及表面检查方法 [P].

及川聪 ;

野条聪 .

中国专利 :CN102597753B ,2012-07-18

[10]

表面检查方法以及表面检查装置 [P].

孟凡辉 ;

丰内哲也 ;

丸山重信 .

日本专利 :CN118401827A ,2024-07-26

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