表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510052539.2

申请日：

2005-02-28

公开(公告)号：

CN1661323A

公开(公告)日：

2005-08-31

发明(设计)人：

栗山淳石羽正人村上清四谷辉久

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G01N2188 H05K334

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

马莹;邵亚丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-06-20	授权	授权
2015-04-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101605904813 IPC(主分类):G01B 11/24 专利号:ZL2005100525392 申请日:20050228 授权公告日:20070620 终止日期:20140228
2005-08-31	公开	公开

共 50 条

[1]

表面状态的检查方法以及表面状态检查装置 [P].

松本俊彦 ;

冈部浩史 ;

木下崇 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN101034070A ,2007-09-12

[2]

表面状态检查装置 [P].

黑木达哉 ;

大根田泉 .

中国专利 :CN210427372U ,2020-04-28

[3]

曲面体的表面状态检查方法及基板检查装置 [P].

鴛海明 ;

藤井良樹 ;

藤田有人 .

中国专利 :CN1421688A ,2003-06-04

[4]

基板表面检查装置以及基板表面检查方法 [P].

若叶博之 ;

林义典 ;

宫园浩一 ;

小野洋子 ;

森秀树 ;

川崎祥三 .

中国专利 :CN101883979B ,2010-11-10

[5]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

初田元伸 ;

清水英仁 .

中国专利 :CN103226108B ,2013-07-31

[6]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

坂本三四郎 .

中国专利 :CN115047009A ,2022-09-13

[7]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

早野史伦 .

中国专利 :CN101990636A ,2011-03-23

[8]

表面状态检查方法及电路板检查装置 [P].

村上清 ;

藤井良树 .

中国专利 :CN1431482A ,2003-07-23

[9]

密封状态检查装置和密封状态检查方法 [P].

木下滋弘 .

中国专利 :CN101341400B ,2009-01-07

[10]

表面检查装置和表面检查头装置 [P].

深水裕纪子 ;

森秀夫 .

中国专利 :CN102062738A ,2011-05-18

← 1 2 3 4 5 →