曲面体的表面状态检查方法及基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02154361.5

申请日：

2002-11-26

公开(公告)号：

CN1421688A

公开(公告)日：

2003-06-04

发明(设计)人：

鴛海明藤井良樹藤田有人

申请人：

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

G01N2155

IPC分类号：

G01N2188

代理机构：

隆天国际专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-06-04	公开	公开
2003-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-08-30	授权	授权
2015-01-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101594993679 IPC(主分类):G01N 21/956 专利号:ZL021543615 申请日:20021126 授权公告日:20060830 终止日期:20131126

共 50 条

[1]

表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置 [P].

栗山淳 ;

石羽正人 ;

村上清 ;

四谷辉久 .

中国专利 :CN1661323A ,2005-08-31

[2]

表面状态的检查方法以及表面状态检查装置 [P].

松本俊彦 ;

冈部浩史 ;

木下崇 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN101034070A ,2007-09-12

[3]

基板表面检查装置以及基板表面检查方法 [P].

若叶博之 ;

林义典 ;

宫园浩一 ;

小野洋子 ;

森秀树 ;

川崎祥三 .

中国专利 :CN101883979B ,2010-11-10

[4]

基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法 [P].

松嶋大辅 ;

武藤真 ;

林义典 ;

若叶博之 ;

小野洋子 ;

森秀树 .

中国专利 :CN102749334A ,2012-10-24

[5]

检查插入于基板的多个引脚的插入状态的方法及基板检查装置 [P].

具大成 ;

林祐永 ;

金龙 .

中国专利 :CN111480088B ,2020-07-31

[6]

检查夹具、基板检查装置及基板检查方法 [P].

松冈伸治 ;

山下宗宽 .

中国专利 :CN105021941B ,2015-11-04

[7]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[8]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05

[10]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

八坂智 .

中国专利 :CN103454286B ,2013-12-18

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