表面检查方法和表面检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310027591.7

申请日：

2013-01-24

公开(公告)号：

CN103226108B

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

初田元伸清水英仁

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

段承恩;杨光军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	授权	授权
2013-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101511726794 IPC(主分类):G01N 21/95 专利申请号:2013100275917 申请日:20130124
2013-07-31	公开	公开

共 50 条

[1]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

坂本三四郎 .

中国专利 :CN115047009A ,2022-09-13

[2]

表面检查方法和表面检查装置 [P].

早野史伦 .

中国专利 :CN101990636A ,2011-03-23

[3]

表面检查装置和表面检查头装置 [P].

深水裕纪子 ;

森秀夫 .

中国专利 :CN102062738A ,2011-05-18

[4]

表面特性检查方法和表面特性检查装置 [P].

牧野良保 .

中国专利 :CN109791126A ,2019-05-21

[5]

表面特性检查方法和表面特性检查装置 [P].

牧野良保 ;

加贺秀明 .

中国专利 :CN106164666B ,2016-11-23

[6]

表面特性检查装置和表面特性检查方法 [P].

牧野良保 .

中国专利 :CN103649744A ,2014-03-19

[7]

表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置 [P].

栗山淳 ;

石羽正人 ;

村上清 ;

四谷辉久 .

中国专利 :CN1661323A ,2005-08-31

[8]

表面检查装置以及表面检查方法 [P].

及川聪 ;

野条聪 .

中国专利 :CN102597753B ,2012-07-18

[9]

表面检查方法以及表面检查装置 [P].

孟凡辉 ;

丰内哲也 ;

丸山重信 .

日本专利 :CN118401827A ,2024-07-26

[10]

表面检查装置及表面检查方法 [P].

早野史伦 .

中国专利 :CN102334026A ,2012-01-25

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