一种用于微纳尺度三维形貌测量的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410086820.7

申请日：

2014-03-07

公开(公告)号：

CN104897076A

公开(公告)日：

2015-09-09

发明(设计)人：

周维虎黎尧纪荣祎劳达宝董登峰张滋黎袁江刘鑫胡坤

申请人：

申请人地址：

100094 北京市海淀区邓庄南路9号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B 11/24 申请公布日:20150909
2015-09-09	公开	公开
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708627790 IPC(主分类):G01B 11/24 专利申请号:2014100868207 申请日:20140307

共 50 条

[1]

一种用于微纳结构表面三维形貌上的光刻方法 [P].

王化宾 ;

何渝 ;

赵立新 .

中国专利 :CN114995053B ,2024-08-30

[2]

一种用于微纳结构表面三维形貌上的光刻方法 [P].

王化宾 ;

何渝 ;

赵立新 .

中国专利 :CN114995053A ,2022-09-02

[3]

一种物体三维形貌测量装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN216283306U ,2022-04-12

[4]

三维形貌测量装置 [P].

余良彬 ;

王湧锋 ;

陈俊玓 .

中国专利 :CN112747686B ,2021-05-04

[5]

一种大倾角微纳结构表面三维形貌测量的辅助装置和方法 [P].

胡摇 ;

石蕊 ;

郝群 ;

陈卓 ;

蒋晓黎 .

中国专利 :CN106247976A ,2016-12-21

[6]

一种基于聚焦评价算法的结构光微纳三维形貌测量方法 [P].

刘磊 ;

唐燕 ;

谢仲业 ;

位浩杰 ;

赵立新 ;

胡松 .

中国专利 :CN110715616B ,2020-01-21

[7]

一种用于真空的三维形貌测量系统 [P].

韩林 ;

刘晓辉 ;

史楷 ;

何志成 .

中国专利 :CN105157615A ,2015-12-16

[8]

一种基于一维图像序列的大尺度三维形貌测量方法 [P].

杨凌辉 ;

邾继贵 ;

任永杰 ;

林嘉睿 ;

孙博 .

中国专利 :CN105387818B ,2016-03-09

[9]

用于测量三维形貌的测量装置 [P].

黄鑫 .

中国专利 :CN210089643U ,2020-02-18

[10]

一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统 [P].

李豪伟 ;

李慧鹏 ;

宋凝芳 ;

张春熹 .

中国专利 :CN110307805A ,2019-10-08

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