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一种晶圆生产用清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022938105.5
申请日：
2020-12-10
公开(公告)号：
CN214812898U
公开(公告)日：
2021-11-23
发明(设计)人：
吴继勇
申请人：
申请人地址：
223800 江苏省宿迁市宿城区宿城经济开发区西区古城路10号
IPC主分类号：
B08B102
IPC分类号：
B08B308
B08B1300
F26B2100
H01L2167
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-23 | 授权 | 授权 |