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蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811063659.6
申请日：
2018-09-12
公开(公告)号：
CN110530825A
公开(公告)日：
2019-12-03
发明(设计)人：
萧郁伦
申请人：
申请人地址：
中国台湾桃园县中坜市自强三路三号
IPC主分类号：
G01N2159
IPC分类号：
代理机构：
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人：
程殿军
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/59 申请日:20180912 |
| 2019-12-03 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-01 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N 21/59 申请公布日:20191203 |