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一种干法蚀刻机终点侦测系统
被引：0
申请号：
CN202211059958.9
申请日：
2022-08-31
公开(公告)号：
CN115424914A
公开(公告)日：
2022-12-02
发明(设计)人：
周玉龙
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区方泾路10号裕大盛博科技园1号楼301室
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2166
H01L2167
代理机构：
苏州国卓知识产权代理有限公司 32331
代理人：
夏祖祥
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20220831 |