一种干法蚀刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511131816.2

申请日：

2025-08-13

公开(公告)号：

CN120955007A

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

马文勇王庆环周志刚

申请人：

苏州运宏电子有限公司

申请人地址：

215169 江苏省苏州市高新区泰前路7号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01J37/32 H01L21/687 B08B5/04 B08B13/00

代理机构：

苏州君磊知识产权代理事务所(普通合伙) 32695

代理人：

黄新民

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250813
2025-11-14	公开	公开

共 50 条

[1]

干法蚀刻设备及蚀刻方法 [P].

方亮 ;

肖文欢 .

中国专利 :CN107301967A ,2017-10-27

[2]

干法蚀刻气体以及干法蚀刻方法 [P].

中村阳介 ;

藤原昌生 ;

大森启之 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN107533969B ,2018-01-02

[3]

一种干法蚀刻装置 [P].

许伯军 ;

巢芳兴 ;

刘帅 .

中国专利 :CN223167441U ,2025-07-29

[4]

干法蚀刻装置 [P].

胡军 ;

赵祥辉 .

中国专利 :CN215496615U ,2022-01-11

[5]

干法蚀刻方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN101937832A ,2011-01-05

[6]

一种干法蚀刻设备的尾气处理装置 [P].

肖文欢 .

中国专利 :CN107469514A ,2017-12-15

[7]

干法蚀刻方法 [P].

王学生 ;

张潇 ;

班丁丁 .

中国专利 :CN119764169A ,2025-04-04

[8]

一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置 [P].

王明明 ;

丁建峰 ;

于玉斋 ;

魏明德 .

中国专利 :CN211677008U ,2020-10-16

[9]

一种用于干法蚀刻的尾气处理设备 [P].

付志江 ;

张赞秋 ;

随继平 ;

叶东国 ;

高岩 ;

李鹏鹏 .

中国专利 :CN121130545A ,2025-12-16

[10]

一种干法蚀刻进气喷嘴及刻蚀设备 [P].

孙文彬 ;

倪林益 ;

张晴 .

中国专利 :CN118616230B ,2025-01-14

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