干法蚀刻机取送片方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910711544.1

申请日：

2019-08-02

公开(公告)号：

CN110429057A

公开(公告)日：

2019-11-08

发明(设计)人：

贺远苗刘丰洋邹良栋

申请人：

申请人地址：

610200 四川省成都市双流区东升街道成都芯谷产业园区集中区

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

G05B19418 H01L2167

代理机构：

北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340

代理人：

杨春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20190802
2021-05-18	授权	授权
2019-11-08	公开	公开

共 50 条

[1]

干法蚀刻气体以及干法蚀刻方法 [P].

中村阳介 ;

藤原昌生 ;

大森启之 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN107533969B ,2018-01-02

[2]

干法蚀刻方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN101937832A ,2011-01-05

[3]

干法蚀刻方法 [P].

王学生 ;

张潇 ;

班丁丁 .

中国专利 :CN119764169A ,2025-04-04

[4]

干法蚀刻设备及蚀刻方法 [P].

方亮 ;

肖文欢 .

中国专利 :CN107301967A ,2017-10-27

[5]

干法蚀刻方法以及硅片蚀刻方法 [P].

杨柏 .

中国专利 :CN101562122B ,2009-10-21

[6]

干法蚀刻装置 [P].

胡军 ;

赵祥辉 .

中国专利 :CN215496615U ,2022-01-11

[7]

使用蚀刻剂膜的循环干法蚀刻方法 [P].

财津优 ;

小林伸好 ;

小林明子 ;

堀胜 ;

近藤博基 ;

堤隆嘉 .

中国专利 :CN107622944A ,2018-01-23

[8]

干法蚀刻装置及其控制方法 [P].

崔相俊 ;

姜智声 .

中国专利 :CN109891557A ,2019-06-14

[9]

干法蚀刻方法及器件制造方法 [P].

高桥秀治 .

中国专利 :CN103548122A ,2014-01-29

[10]

利用化学干法蚀刻设备进行微蚀刻的方法 [P].

孔秋东 ;

简中祥 ;

齐龙茵 .

中国专利 :CN102496561A ,2012-06-13

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