晶片检查装置和晶片检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880093447.4

申请日：

2018-05-30

公开(公告)号：

CN112119297A

公开(公告)日：

2020-12-22

发明(设计)人：

土居昭佐佐木实长谷川正树小川博纪尾方智彦冈田祐子

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N23203

IPC分类号：

G01N21956

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/203 申请日:20180530
2020-12-22	公开	公开

共 50 条

[1]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

木村展之 .

中国专利 :CN113739716A ,2021-12-03

[2]

晶片检查方法和晶片检查装置 [P].

伊藤优作 ;

矢野紘英 ;

谷口智之 .

中国专利 :CN105489523A ,2016-04-13

[3]

晶片检查方法和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN108140590B ,2018-06-08

[4]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN108140591B ,2018-06-08

[5]

晶片检查用接口和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN103308735A ,2013-09-18

[6]

晶片检查用接口和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN102401874B ,2012-04-04

[7]

晶片检查用接口和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN104380449A ,2015-02-25

[8]

晶片检查用接口和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN103163334A ,2013-06-19

[9]

晶片检查用接口装置和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN103308845B ,2013-09-18

[10]

晶片安装方法和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN104756241B ,2015-07-01

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