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晶片检查用接口和晶片检查装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110273307.5
申请日：
2011-09-15
公开(公告)号：
CN102401874B
公开(公告)日：
2012-04-04
发明(设计)人：
山田浩史
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-06-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101261914057 IPC(主分类):G01R 31/26 专利申请号:2011102733075 申请日:20110915 |
| 2014-10-08 | 授权 | 授权 |
| 2012-04-04 | 公开 | 公开 |