一种半导体原料清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020265563.4

申请日：

2020-03-06

公开(公告)号：

CN212370663U

公开(公告)日：

2021-01-19

发明(设计)人：

文新艳付华秀

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市番禺区化龙镇塘头村青梅岗

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504

代理人：

罗炳锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-19	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体原料清洗装置 [P].

焦雪梅 ;

马英俊 ;

林泉 ;

赵静敏 ;

权盼 ;

赵邦超 ;

孟杰 ;

杨微 ;

郑粉桃 ;

闻爱清 .

中国专利 :CN213856016U ,2021-08-03

[2]

一种半导体原料的腐蚀清洗装置 [P].

陆海凤 ;

柯尊斌 ;

王卿伟 ;

乔印彬 .

中国专利 :CN213495346U ,2021-06-22

[3]

半导体衬底清洗装置 [P].

陈勇 ;

朱刘 ;

刘留 .

中国专利 :CN205303427U ,2016-06-08

[4]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

刘安全 ;

王鹤 .

中国专利 :CN207503923U ,2018-06-15

[5]

一种半导体光刻板清洗装置 [P].

韩波 .

中国专利 :CN212597355U ,2021-02-26

[6]

一种半导体激光芯片清洗装置 [P].

李明欣 ;

宋云菲 ;

李宁 .

中国专利 :CN218414497U ,2023-01-31

[7]

一种半导体加工清洗除尘装置 [P].

李永强 .

中国专利 :CN217017589U ,2022-07-22

[8]

一种半导体晶片的清洗装置 [P].

李杰 ;

殷军伟 .

中国专利 :CN220461579U ,2024-02-09

[9]

一种半导体元件用清洗装置 [P].

罗艳玲 ;

龚秀友 ;

王敬 .

中国专利 :CN210936181U ,2020-07-07

[10]

一种半导体清洗装置 [P].

尤红权 ;

邓光伟 ;

朱志松 ;

陈磊 .

中国专利 :CN221157906U ,2024-06-18

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