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一种半导体元件用清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921706228.7
申请日：
2019-10-12
公开(公告)号：
CN210936181U
公开(公告)日：
2020-07-07
发明(设计)人：
罗艳玲
龚秀友
王敬
申请人：
申请人地址：
241000 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包园3号楼1803
IPC主分类号：
B08B308
IPC分类号：
B08B310
B08B1300
H01L2167
代理机构：
芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107
代理人：
孟迪
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-07 | 授权 | 授权 |
| 2022-08-19 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B 3/08 变更事项:专利权人 变更前:芜湖启迪半导体有限公司 变更后:安徽长飞先进半导体有限公司 变更事项:地址 变更前:241000 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包园3号楼1803 变更后:241000 安徽省芜湖市高新技术产业开发区服务外包园3号楼1803 |