一种半导体元件清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320561120.X

申请日：

2013-09-11

公开(公告)号：

CN203536382U

公开(公告)日：

2014-04-09

发明(设计)人：

曹周敖利波

申请人：

申请人地址：

523750 广东省东莞市黄江镇裕元工业区精成科技园区B栋

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21673

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

张帅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-09	授权	授权
2015-10-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101631604550 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL201320561120X 申请日:20130911 授权公告日:20140409 终止日期:20140911

共 50 条

[1]

一种半导体元件清洗装置 [P].

周武 .

中国专利 :CN218167960U ,2022-12-30

[2]

一种半导体元件用清洗装置 [P].

杨砚红 .

中国专利 :CN217831007U ,2022-11-18

[3]

一种半导体元件用清洗装置 [P].

李峰 ;

李振锋 .

中国专利 :CN221017660U ,2024-05-28

[4]

一种半导体元件用清洗装置 [P].

罗艳玲 ;

龚秀友 ;

王敬 .

中国专利 :CN210936181U ,2020-07-07

[5]

一种半导体元件清洗装置 [P].

卓廷厚 .

中国专利 :CN206059356U ,2017-03-29

[6]

一种半导体元件清洗装置 [P].

郭莲朵 .

中国专利 :CN207021237U ,2018-02-16

[7]

一种半导体元件清洗装置 [P].

夏正浩 .

中国专利 :CN220387283U ,2024-01-26

[8]

一种半导体元件加工使用的清洗装置 [P].

王凡 .

中国专利 :CN216937349U ,2022-07-12

[9]

一种半导体清洗装置 [P].

徐皓 ;

许亮 .

中国专利 :CN213424941U ,2021-06-11

[10]

一种半导体清洗装置 [P].

黄祥恩 ;

韦文龙 ;

孙浩铭 .

中国专利 :CN213103534U ,2021-05-04

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