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半导体元件用干冰清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023107912.9
申请日：
2020-12-22
公开(公告)号：
CN214160740U
公开(公告)日：
2021-09-10
发明(设计)人：
陈铁龙
林智颖
陈坤
张振
孙东初
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇城北水秀路1881号5号房
IPC主分类号：
B08B502
IPC分类号：
B08B700
B08B1300
代理机构：
苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312
代理人：
杨月芳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-10 | 授权 | 授权 |