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金属膜层生长质量的检测方法
被引:0
申请号
:
CN202210470163.0
申请日
:
2022-04-28
公开(公告)号
:
CN114843200A
公开(公告)日
:
2022-08-02
发明(设计)人
:
张磊
谭秀文
许有超
李欢
陈诗翰
申请人
:
申请人地址
:
214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
IPC主分类号
:
H01L2166
IPC分类号
:
H01L23544
代理机构
:
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
:
戴广志
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20220428
2022-08-02
公开
公开
共 50 条
[1]
金属膜层的返工方法
[P].
徐衡
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海华虹宏力半导体制造有限公司
上海华虹宏力半导体制造有限公司
徐衡
.
中国专利
:CN117727616A
,2024-03-19
[2]
金属膜层的制造方法
[P].
谢贤皇
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谢贤皇
;
宋子文
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宋子文
.
中国专利
:CN101509117A
,2009-08-19
[3]
金属膜层及堆叠膜层
[P].
邓伊玲
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邓伊玲
;
萧钲谚
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萧钲谚
;
王博生
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王博生
;
黄正欣
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黄正欣
;
颜丕承
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颜丕承
.
中国专利
:CN206003846U
,2017-03-08
[4]
一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备
[P].
何中凯
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何中凯
;
荣延栋
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荣延栋
;
刘菲菲
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刘菲菲
;
夏威
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夏威
;
丁培军
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丁培军
.
中国专利
:CN109207942A
,2019-01-15
[5]
带金属膜层的合成皮革
[P].
蔡天守
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蔡天守
.
中国专利
:CN201517182U
,2010-06-30
[6]
一种金属膜层的沉积方法
[P].
陈峰
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陈峰
;
王晓兵
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王晓兵
.
中国专利
:CN115449870A
,2022-12-09
[7]
一种金属膜层的刻蚀方法
[P].
门元帅
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机构:
美新半导体(绍兴)有限公司
美新半导体(绍兴)有限公司
门元帅
;
赵伟栋
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机构:
美新半导体(绍兴)有限公司
美新半导体(绍兴)有限公司
赵伟栋
;
陈奇
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机构:
美新半导体(绍兴)有限公司
美新半导体(绍兴)有限公司
陈奇
;
顾文彬
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机构:
美新半导体(绍兴)有限公司
美新半导体(绍兴)有限公司
顾文彬
.
中国专利
:CN120674318A
,2025-09-19
[8]
金属膜电阻的检测装置及检测方法
[P].
谢向兵
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谢向兵
;
刘发印
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刘发印
;
李强
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李强
.
中国专利
:CN101344546A
,2009-01-14
[9]
基于金属过渡层的石英基底表面金属膜层的制备方法
[P].
冯昊
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
冯昊
;
龚婷
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
龚婷
;
张王乐
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
张王乐
;
胡逸云
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
胡逸云
;
李丹
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
李丹
;
惠龙飞
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
惠龙飞
;
房佳斌
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
房佳斌
;
李建国
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
李建国
;
秦利军
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机构:
西安近代化学研究所
西安近代化学研究所
秦利军
.
中国专利
:CN117467975A
,2024-01-30
[10]
具备装饰膜层和金属膜层的树脂片的制造方法
[P].
黑沢和广
论文数:
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黑沢和广
;
石黑正
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石黑正
.
中国专利
:CN103124635A
,2013-05-29
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