金属膜层生长质量的检测方法

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申请号
CN202210470163.0
申请日
2022-04-28
公开(公告)号
CN114843200A
公开(公告)日
2022-08-02
发明(设计)人
张磊 谭秀文 许有超 李欢 陈诗翰
申请人
申请人地址
214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
IPC主分类号
H01L2166
IPC分类号
H01L23544
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
戴广志
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
金属膜层的返工方法 [P]. 
徐衡 .
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[2]
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谢贤皇 ;
宋子文 .
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[3]
金属膜层及堆叠膜层 [P]. 
邓伊玲 ;
萧钲谚 ;
王博生 ;
黄正欣 ;
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[4]
一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备 [P]. 
何中凯 ;
荣延栋 ;
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[5]
带金属膜层的合成皮革 [P]. 
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[6]
一种金属膜层的沉积方法 [P]. 
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[7]
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门元帅 ;
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[8]
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[9]
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房佳斌 ;
李建国 ;
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[10]
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黑沢和广 ;
石黑正 .
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