基于金属过渡层的石英基底表面金属膜层的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311313243.6

申请日：

2023-10-11

公开(公告)号：

CN117467975A

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

冯昊龚婷张王乐胡逸云李丹惠龙飞房佳斌李建国秦利军

申请人：

西安近代化学研究所

申请人地址：

710065 陕西省西安市雁塔区丈八东路168号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/02 C23C16/14 C23C16/18 C23C16/505 C23C16/52 B82Y30/00 B82Y40/00 G01C19/5691 G01C25/00

代理机构：

西安恒泰知识产权代理事务所 61216

代理人：

王孝明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

陕西省西安市

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共 50 条

[1]

基于氧化物成核层的石英基底表面金属膜层的制备方法 [P].

冯昊 ;

龚婷 ;

秦利军 ;

张王乐 ;

李丹 ;

胡逸云 ;

李建国 ;

房佳斌 ;

惠龙飞 .

中国专利 :CN117646189A ,2024-03-05

[2]

带氧化物过渡层的曲面石英基底表面金属膜层的制备方法 [P].

冯昊 ;

龚婷 ;

秦利军 ;

惠龙飞 ;

张王乐 ;

李建国 ;

胡逸云 ;

李丹 ;

房佳斌 .

中国专利 :CN117144330B ,2025-11-11

[3]

金属膜层的返工方法 [P].

徐衡 .

中国专利 :CN117727616A ,2024-03-19

[4]

金属膜层的制造方法 [P].

谢贤皇 ;

宋子文 .

中国专利 :CN101509117A ,2009-08-19

[5]

金属膜层及堆叠膜层 [P].

邓伊玲 ;

萧钲谚 ;

王博生 ;

黄正欣 ;

颜丕承 .

中国专利 :CN206003846U ,2017-03-08

[6]

一种在有机材料表面制备金属膜层的方法 [P].

李晓旻 ;

张南 ;

谢家伦 ;

华佑南 .

中国专利 :CN111172511A ,2020-05-19

[7]

基于聚合物材料去除基底表面金属膜层的方法及光刻方法 [P].

罗先刚 ;

沈涛 ;

刘玲 ;

赵泽宇 ;

李夏楚秦 ;

张党龙 ;

陈丽娟 .

中国专利 :CN115755541B ,2024-09-27

[8]

LED倒装晶元金属膜层 [P].

钱涛 .

中国专利 :CN202123748U ,2012-01-25

[9]

一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备 [P].

何中凯 ;

荣延栋 ;

刘菲菲 ;

夏威 ;

丁培军 .

中国专利 :CN109207942A ,2019-01-15

[10]

金属膜层生长质量的检测方法 [P].

张磊 ;

谭秀文 ;

许有超 ;

李欢 ;

陈诗翰 .

中国专利 :CN114843200A ,2022-08-02

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20231011
2024-01-30	公开	公开