一种调平装置及晶圆搬运机器人

被引：0

申请号：

CN202220931594.8

申请日：

2022-04-21

公开(公告)号：

CN217123197U

公开(公告)日：

2022-08-05

发明(设计)人：

高阳张方伟于光明胡章坤

申请人：

申请人地址：

215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢

IPC主分类号：

B25J1100

IPC分类号：

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

刘彦伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN215318653U ,2021-12-28

[2]

晶圆机器人储位安装结构及晶圆搬运机器人 [P].

黎江华 ;

赵万秋 ;

杨敉琳 ;

吴浩田 ;

边旭 .

中国专利 :CN220972382U ,2024-05-17

[3]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN112936217A ,2021-06-11

[4]

晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN214624997U ,2021-11-05

[5]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN112936217B ,2025-03-11

[6]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN215037510U ,2021-12-07

[7]

晶圆搬运机器人 [P].

黎江华 ;

赵万秋 ;

杨敉琳 ;

吴浩田 ;

边旭 .

中国专利 :CN117359591A ,2024-01-09

[8]

晶圆搬运机器人 [P].

王福清 ;

张耀仁 ;

林宗颖 .

中国专利 :CN103972136B ,2014-08-06

[9]

晶圆搬运机器人 [P].

王栋梁 ;

王彭 ;

林坚 .

中国专利 :CN309384773S ,2025-07-15

[10]

晶圆搬运机器人 [P].

岛本光 .

中国专利 :CN103329258A ,2013-09-25

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