晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120379250.6

申请日：

2021-02-19

公开(公告)号：

CN214624997U

公开(公告)日：

2021-11-05

发明(设计)人：

黄宗勇丁凯旋杨超

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市福田区深南中路2070号电子科技大厦D座5楼

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B25J1100 B25J1900

代理机构：

深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙) 44507

代理人：

何姣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN215318653U ,2021-12-28

[2]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN112936217A ,2021-06-11

[3]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN112936217B ,2025-03-11

[4]

晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 .

中国专利 :CN119480740A ,2025-02-18

[5]

晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 .

中国专利 :CN119480740B ,2025-06-17

[6]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN215037510U ,2021-12-07

[7]

晶圆盒搬运机器人 [P].

刘晓乐 .

中国专利 :CN308519075S ,2024-03-19

[8]

晶圆盒搬运机器人 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 .

中国专利 :CN120824235A ,2025-10-21

[9]

夹持装置及晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN215618061U ,2022-01-25

[10]

晶圆盒检测装置及搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

张海锋 ;

黎江华 ;

赵万秋 ;

边旭 .

中国专利 :CN220984477U ,2024-05-17

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