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晶圆盒搬运机器人
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510697262.6
申请日：
2025-01-15
公开(公告)号：
CN120824235A
公开(公告)日：
2025-10-21
发明(设计)人：
陈卫军
欧阳增图
申请人：
深圳市辰中科技有限公司
深圳市晶相技术有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道6023号耀华创建大厦901
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
上海汉之律师事务所 31378
代理人：
胡雨
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-21 | 公开 | 公开 |
| 2025-11-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250115 |