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晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510059126.4
申请日：
2025-01-15
公开(公告)号：
CN119480740B
公开(公告)日：
2025-06-17
发明(设计)人：
陈卫军 欧阳增图
申请人：
深圳市辰中科技有限公司 深圳市晶相技术有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道6023号耀华创建大厦901
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
上海汉之律师事务所 31378
代理人：
胡雨
法律状态：
授权
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-17 授权 授权
2025-03-07 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250115
2025-02-18 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法 [P]. 
陈卫军 ;
欧阳增图 .
中国专利 :CN119480740A ,2025-02-18
[2]
晶圆盒搬运机器人 [P]. 
陈卫军 ;
欧阳增图 .
中国专利 :CN120824235A ,2025-10-21
[3]
晶圆盒搬运机器人 [P]. 
刘晓乐 .
中国专利 :CN308519075S ,2024-03-19
[4]
晶圆盒搬运机器人 [P]. 
黄宗勇 ;
丁凯旋 ;
杨超 .
中国专利 :CN112936217A ,2021-06-11
[5]
晶圆盒搬运机器人 [P]. 
黄宗勇 ;
丁凯旋 ;
杨超 .
中国专利 :CN215318653U ,2021-12-28
[6]
晶圆盒搬运机器人 [P]. 
黄宗勇 ;
丁凯旋 ;
杨超 .
中国专利 :CN215037510U ,2021-12-07
[7]
晶圆盒搬运机器人 [P]. 
黄宗勇 ;
丁凯旋 ;
杨超 .
中国专利 :CN112936217B ,2025-03-11
[8]
晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人 [P]. 
黄宗勇 ;
丁凯旋 ;
杨超 .
中国专利 :CN214624997U ,2021-11-05
[9]
晶圆搬运机器人 [P]. 
黎江华 ;
赵万秋 ;
杨敉琳 ;
吴浩田 ;
边旭 .
中国专利 :CN117359591A ,2024-01-09
[10]
晶圆搬运机器人 [P]. 
王福清 ;
张耀仁 ;
林宗颖 .
中国专利 :CN103972136B ,2014-08-06
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