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晶圆盒搬运机器人
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120380916.X
申请日：
2021-02-19
公开(公告)号：
CN215037510U
公开(公告)日：
2021-12-07
发明(设计)人：
黄宗勇
丁凯旋
杨超
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市福田区深南中路2070号电子科技大厦D座5楼
IPC主分类号：
B25J1100
IPC分类号：
代理机构：
深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙) 44507
代理人：
何姣
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-07 | 授权 | 授权 |