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晶圆盒检测装置及搬运机器人
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322543202.8
申请日：
2023-09-18
公开(公告)号：
CN220984477U
公开(公告)日：
2024-05-17
发明(设计)人：
黄宗勇
张海锋
黎江华
赵万秋
边旭
申请人：
深圳优艾智合机器人科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘坑社区甘李二路9号金苹果创新园厂房C101
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙) 44507
代理人：
温朝晖
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-17 | 授权 | 授权 |