一种大口径反射薄膜元件吸收型缺陷快速成像的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911352599.4

申请日：

2019-12-25

公开(公告)号：

CN111122599A

公开(公告)日：

2020-05-08

发明(设计)人：

李斌成王静赵斌兴江海涛

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20191225
2022-07-22	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/95 申请公布日:20200508
2020-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种大口径光学元件表面吸收型缺陷分布快速成像的方法 [P].

李斌成 ;

孙启明 ;

樊俊琪 .

中国专利 :CN109444166B ,2019-03-08

[2]

一种大口径光学元件激光预处理和吸收型缺陷成像检测的联合装置 [P].

李斌成 ;

孙启明 .

中国专利 :CN112388156B ,2021-02-23

[3]

大口径元件体内缺陷快速检测装置和方法 [P].

邵建达 ;

刘世杰 ;

倪开灶 ;

黄保铭 ;

潘靖宇 ;

徐天柱 ;

李灵巧 .

中国专利 :CN109060816A ,2018-12-21

[4]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN103105400B ,2013-05-15

[5]

一种大口径光学成像级聚酰亚胺薄膜制备方法 [P].

毛丹波 ;

毛羽丰 ;

范斌 ;

杜峻峰 .

中国专利 :CN111647180A ,2020-09-11

[6]

大口径光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

邓燕 ;

许乔 ;

柴立群 ;

石琦凯 .

中国专利 :CN201589753U ,2010-09-22

[7]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN203069524U ,2013-07-17

[8]

一种大口径红外成像系统传递定标方法 [P].

张雨松 ;

范小礼 ;

郑崇 ;

修鹏 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN117589311A ,2024-02-23

[9]

一种大口径光学成像系统次镜高精度定标方法 [P].

聂婷 ;

黄良 ;

李明轩 ;

袁航飞 ;

吕恒毅 ;

韩诚山 ;

李国宁 .

中国专利 :CN117249975B ,2025-11-25

[10]

一种用于大口径光学薄膜元件制备的真空镀膜机 [P].

唐波 ;

张云 ;

刘维松 .

中国专利 :CN211036072U ,2020-07-17

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