一种大口径光学元件表面吸收型缺陷分布快速成像的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811470960.9

申请日：

2018-12-04

公开(公告)号：

CN109444166B

公开(公告)日：

2019-03-08

发明(设计)人：

李斌成孙启明樊俊琪

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

G01N2520

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-08	公开	公开
2021-07-23	授权	授权
2019-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20181204

共 50 条

[1]

一种大口径光学元件激光预处理和吸收型缺陷成像检测的联合装置 [P].

李斌成 ;

孙启明 .

中国专利 :CN112388156B ,2021-02-23

[2]

一种大口径反射薄膜元件吸收型缺陷快速成像的方法 [P].

李斌成 ;

王静 ;

赵斌兴 ;

江海涛 .

中国专利 :CN111122599A ,2020-05-08

[3]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN103105400B ,2013-05-15

[4]

大口径光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

邓燕 ;

许乔 ;

柴立群 ;

石琦凯 .

中国专利 :CN201589753U ,2010-09-22

[5]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN203069524U ,2013-07-17

[6]

一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P].

陈晓义 ;

王璞 ;

眭越 ;

李成尧 ;

达争尚 .

中国专利 :CN119643586A ,2025-03-18

[7]

一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P].

陈晓义 ;

王璞 ;

眭越 ;

李成尧 ;

达争尚 .

中国专利 :CN119643586B ,2025-06-13

[8]

大口径光学元件表面缺陷增长分析方法、系统、装置 [P].

陶显 ;

张大朋 ;

马文治 ;

侯伟 ;

徐德 .

中国专利 :CN110031471A ,2019-07-19

[9]

大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法 [P].

王震 ;

许乔 ;

卫耀伟 ;

王健 ;

李树刚 ;

刘民才 ;

张飞 ;

唐明 ;

吴倩 ;

罗晋 ;

罗振飞 ;

周永勤 ;

程建国 ;

白友民 .

中国专利 :CN111330877A ,2020-06-26

[10]

快速统计大口径光学元件表面污染和损伤的方法 [P].

王海军 ;

张传超 ;

王静轩 ;

陈静 ;

张丽娟 ;

蒋晓龙 ;

廖威 ;

栾晓雨 ;

蒋晓东 .

中国专利 :CN109839387A ,2019-06-04

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