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一种芯片加工用除尘装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021132668.9
申请日：
2020-06-18
公开(公告)号：
CN212976132U
公开(公告)日：
2021-04-16
发明(设计)人：
陈博语
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇民营开发区
IPC主分类号：
B08B502
IPC分类号：
B08B1504
B08B1300
H01L2167
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-16 | 授权 | 授权 |