空间用反射镜碳化硅复合膜的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110182092.6
申请日
2011-06-30
公开(公告)号
CN102242348A
公开(公告)日
2011-11-16
发明(设计)人
孟凡涛 郑明文 魏春城 白佳海 牛金叶 冯柳
申请人
申请人地址
255086 山东省淄博市高新技术产业开发区高创园D座1012
IPC主分类号
C23C1632
IPC分类号
C23C1644
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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